Sensofar S neox共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀的出色表現(xiàn)，離不開SensoSCAN與SensoMAP軟件的深度賦能。設(shè)備硬件采用高兼容性設(shè)計(jì)，能與軟件實(shí)現(xiàn)無(wú)縫聯(lián)動(dòng)——從參數(shù)設(shè)置到數(shù)據(jù)采集，再到分析報(bào)告生成，整個(gè)流程流暢銜接，無(wú)需額外的適配操作。硬件的高性能為軟件功能提供支撐：500 萬(wàn)像素 CMOS 相機(jī)的高速數(shù)據(jù)傳輸，讓軟件能實(shí)時(shí)呈現(xiàn) 3D 重建圖像；無(wú)運(yùn)動(dòng)部件的掃描引擎，配合軟件算法實(shí)現(xiàn)光路的快速切換與校準(zhǔn)。這種軟硬件協(xié)同設(shè)計(jì)，既保證了測(cè)量精度，又提升了操作效率。
SensoSCAN 軟件擁有清晰直觀的操作界面，采用引導(dǎo)式設(shè)計(jì)，用戶能在 3D 環(huán)境中完成測(cè)量全程操作。“自動(dòng) 3D 功能" 是其亮點(diǎn)之一，點(diǎn)擊后軟件會(huì)自動(dòng)判斷樣品特性，設(shè)定合適的照明強(qiáng)度、測(cè)量范圍與技術(shù)模式，幾秒鐘內(nèi)即可獲得測(cè)量結(jié)果，即使新手也能輕松操作。
“樣品導(dǎo)航" 功能解決了高倍率測(cè)量的定位難題，通過(guò) overview 工具可實(shí)時(shí)查看測(cè)量位置，避免操作偏差。電動(dòng)鼻輪的自動(dòng)切換、樣品的自動(dòng)調(diào)平等硬件動(dòng)作，均能通過(guò)軟件一鍵控制，減少人工干預(yù)。對(duì)于批量檢測(cè)，軟件支持創(chuàng)建測(cè)量模板，保存參數(shù)后可重復(fù)調(diào)用，大幅節(jié)省時(shí)間。
數(shù)據(jù)處理環(huán)節(jié)，SensoMAP 軟件支持 30 余種 ISO 標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)計(jì)算，包括 Sa、Sq、Sz 等表面粗糙度參數(shù)，以及 PV、Rq 等面型誤差參數(shù)，能滿足不同行業(yè)的分析需求。自動(dòng)缺陷檢測(cè)功能可識(shí)別表面劃痕、顆粒、凹陷等問(wèn)題，配合 AI 分析插件，還能對(duì)表面紋理進(jìn)行分類。
報(bào)告生成功能十分靈活，可自定義包含 3D 數(shù)據(jù)圖、2D 輪廓圖、參數(shù)列表等內(nèi)容，支持 PDF 與 Excel 格式導(dǎo)出，直接用于質(zhì)檢歸檔或科研匯報(bào)。軟件還支持多尺度視場(chǎng)融合，能將小范圍高分辨率數(shù)據(jù)與大范圍宏觀數(shù)據(jù)結(jié)合，呈現(xiàn)更全面的樣品信息。
針對(duì)不同行業(yè)需求，軟件內(nèi)置專用檢測(cè)模板 —— 半導(dǎo)體行業(yè)的薄膜厚度分析模板、汽車行業(yè)的表面質(zhì)量評(píng)估模板、醫(yī)療行業(yè)的植入體紋理分析模板等，無(wú)需用戶自行設(shè)置復(fù)雜參數(shù)。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，軟件輸出的報(bào)告符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)，可直接用于行業(yè)認(rèn)證。
軟件支持云端協(xié)同，多臺(tái) S neox 設(shè)備的數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)共享，便于跨地域?qū)嶒?yàn)室或生產(chǎn)基地的協(xié)同工作。遠(yuǎn)程升級(jí)功能能及時(shí)推送新算法與新模板，讓設(shè)備持續(xù)適配新的檢測(cè)需求。此外，軟件還提供與 SEM、AFM 等儀器的數(shù)據(jù)接口，實(shí)現(xiàn)跨平臺(tái)數(shù)據(jù)對(duì)比分析。Sensofar白光干涉輪廓儀軟硬件協(xié)同的優(yōu)勢(shì)
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