雙模合一SensofarS lynx2的技術(shù)特點

Sensofar S lynx2的核心優(yōu)勢在于其將共聚焦成像和白光干涉測量技術(shù)集成于一臺設(shè)備之中。這種“雙引擎"設(shè)計理念，使其在面對多樣化的樣品時，能展現(xiàn)出良好的適應(yīng)性，為用戶提供了更寬廣的測量范圍。

共聚焦技術(shù)利用空間針孔來排除焦點以外的雜散光，從而能夠獲取樣品表面不同高度的光學(xué)切片。通過垂直掃描并重建這些切片，可以得到高對比度的三維表面形貌。這一技術(shù)對光線的利用效率較高，即使對于吸光材料或暗色樣品，也能獲得可信的測量數(shù)據(jù)。它尤其擅長處理陡峭側(cè)壁和粗糙表面。

白光干涉技術(shù)，又稱垂直掃描干涉術(shù)，利用白光短相干性的特性，通過尋找干涉條紋的對比度最大值來精確定位表面高度。這種技術(shù)對于光滑表面的微小起伏和納米級的臺階高度測量，能表現(xiàn)出良好的性能。

S lynx2的智能之處在于，其軟件系統(tǒng)能夠根據(jù)用戶選擇的物鏡和設(shè)置的測量參數(shù)，自動推薦或切換到合適的測量模式。例如，使用低倍物鏡觀察一個粗糙的噴砂表面時，系統(tǒng)會建議采用共聚焦模式；而換用高倍物鏡測量一個光滑的硅片臺階時，系統(tǒng)則會推薦白光干涉模式。這種自動化流程降低了對操作人員的技術(shù)要求，減少了因模式選擇不當(dāng)而導(dǎo)致的測量誤差。

從用材上看，確保光學(xué)性能穩(wěn)定是基礎(chǔ)。S lynx2的光路系統(tǒng)采用了鍍膜光學(xué)玻璃透鏡，以減少像差和色差，保證成像質(zhì)量。掃描系統(tǒng)采用閉環(huán)壓電陶瓷驅(qū)動器，其重復(fù)定位性能有助于提升垂直方向的測量準(zhǔn)確性。

這種技術(shù)上的融合，使得S lynx2成為了一臺“多面手"設(shè)備。它既不像單一共聚焦設(shè)備那樣在納米尺度上可能受限，也不像單一干涉儀那樣在面對粗糙表面時無能為力。對于預(yù)算有限但又需要應(yīng)對多種測量挑戰(zhàn)的用戶來說，S lynx2提供了一個折中的解決方案。

雙模合一SensofarS lynx2的技術(shù)特點